超聲波清洗技術最早出現于20世紀30年代早期,當時,位于美國新澤西州的美國無線電公司的一個實驗室中的技術人員嘗試用自制的簡陋超聲波清洗系統清洗某些物體,但試驗未獲成功。超聲波可以對工件施加非常巨大的能量,尤其適用于清除牢固地附著在基底上的污垢。然而在某些情況下,超聲波強大的能量也會損傷粘有污垢而性質脆弱的基底材料。在過去的十幾年中,超聲波領域中出現了一些技術革新,提高了清除敏感基底上的污物的安全系數。在此期間,超聲波技術,特別是中高頻超聲波清洗技術有了新的發展,并成為行業的亮點。

近年來,人們發現用兆聲波(根據超聲波的頻率不同,把40 kHz及其以下的稱為常規或低頻超聲波,把1 000 kHz以上的稱為高頻超聲波,又稱兆頻超聲波,簡稱兆聲波)清洗可以去除掉半導體材料表面上的超細污垢微粒,并且不會損傷基底材料的表面。目前這項技術已經得到了很快的普及。

一般來說,清洗的工藝流程依被清洗物體清洗的難易程度及清洗數量而決定。

主要清洗流程如下:

1)熱浸洗或噴洗:目的是將工件上的污染物軟化、分離、溶解,并減輕下道清洗工序的負荷。
2)超聲波清洗:利用超聲波產生的強烈空化作用及振動將工件表面的污垢剝離脫落,同時還可將油脂性的污物分解、乳化。
3)冷漂洗:利用流動的凈水將已脫落但尚浮在工件表面上污物沖洗干凈。
4)超聲波漂洗:溶劑為干凈的清水,工件浸入后,利用超聲波將浮在工件各邊、角及孔隙處的污物清洗干凈。
5)熱凈水及冷凈水漂洗:進一步去除懸附在工件表面上的污物微粒。
6)熱風烘干:利用一定的溫度和風速,使零件表面快速干燥。

雙槽超聲波清洗機特點：

1、槽體采用加厚（2.0）不銹鋼SUS304；
2、超聲功率可0-百%任意調節，頻率28Khz、40Khz可任意選擇，適用不同清洗要求，徹底解決清洗盲區；
3、加熱系統30-110℃可調；
4、二十四小時連續工作，適應大批量清洗；
5、先進的第二代發生器，獨特的掃頻功能，轉換效率達97%；
7、流水線大批量生產，品質一致性高，成本控制良好；

此設備由超聲波清洗槽、超聲波漂洗槽，純水切水槽、拋動裝置、切水裝置、儲液槽、加熱系統、循環過濾系統、烘干室（門自動提升裝置）等組成。

適用范圍：精密光學鏡片、液晶顯示板、透鏡、棱鏡、顯微鏡片等的清洗

清洗流程：上料→中性液超聲波清洗（設拋動、過濾、儲液槽加熱）→中性液超聲波清洗（設拋動、過濾、儲液槽加熱）→純水超聲波清洗（設拋動）→純水超聲波清洗（設拋動）→純水超聲波清洗（設拋動）→純水超聲波清洗（設拋動、過濾、儲液槽加熱）→純水切水槽（設切水裝置、過濾、儲液槽加熱）→烘干（紅外線、門自動提升裝置）

雙槽超聲波清洗機使用注意事項：

1.為避免清洗槽，因熱脹冷縮的原因而使換能器脫落，因此不能將過熱的清洗液驟然倒入清洗缸內。
2.正確的選擇清洗劑、對清洗效果很重要，要根據所需清洗物體表面的附著物，來確定清洗劑。一般有：除油劑、除銹劑、除漆劑、除碳劑、去蠟劑、及其它有機化學清洗劑。不能將含強酸、強堿的溶液注入到清洗槽內、去腐蝕清洗槽。
3.超聲波清洗機在工作的過程中、會使液體產生一定的溫度、使液體產生的液溫、夏天一般穩定在55℃左右、冬天在45℃左右。
4.把需要清洗的物體放入清洗籃內或專用夾具上，被清洗物體不與槽體接觸會有更佳的清洗效果。
5.加熱器安裝在內槽后側的2/3以下的部位，在加熱時、不要用手去觸摸加熱板部位，小心燙傷，在液位小于2/3內槽高度時不能加熱，建議不要將超聲波內槽溶液、長期加溫到80℃以上、那樣會縮短超聲波清洗機的使用壽命。