超聲波清洗通常是指零件的清洗，事實上，工業設備也需要清洗，最好是在線清洗。因此，產生了一種新的超聲波技術——超聲波防垢。或者，超聲波防垢是超聲波清洗的一種特殊應用。

超聲波輻射在液體中有三個方面，具有防垢能力。

1.隨著介質的變化，超聲波的傳播速度較差，從而在界面上形成剪切應力，減弱分子與管壁之間的結合力，防止水垢晶體附著在管壁上。
2.超聲波在流體介質中的空化所產生的強壓峰可加速Ca2+和Mg2+的沉淀，并可將沉淀的碳酸鹽垢和顆粒雜質壓碎成小顆粒并懸浮在介質中。
3.超聲波在流體中空化造成的高溫高壓特殊物理環境會加速化學反應，改變結垢條件。

超聲防垢和超聲清洗一樣，其效率的主動力來自于聲空化瞬態空化泡沫釋放的巨大能量，引起聲化反應。在氣泡湮滅的瞬間，小氣泡產生約4000k和100MPa的局部高溫高壓環境，使氣泡周圍的介質受到高壓射流的影響。

在強超聲波作用下，每個空化氣泡都是一個熱點，其使用壽命約為0.1ms。爆破時能產生非凡的能量效應，在液固交界面產生速度約為110m/s的微射流。微射流會在界面之間形成劇烈的機械攪拌效應，突破層流邊界層的限制，從而加強界面之間的化學反應過程、質量和熱傳遞過程。

超聲波不僅可以防止結垢，還可以防止結垢。關鍵是控制超聲波的能量、頻率和工作時間。無論超聲波是防止結垢物質的沉積，還是去除沉積的結垢物質，都有助于加強生產裝置的傳熱，原因如下：

1)使污垢層脫落或變薄，保持傳熱表面清潔，從而降低污垢熱阻；
2)超聲波空化產生的微射流不斷沖刷傳熱表面，增加傳熱界面流體的湍流程度，降低傳熱邊界層的厚度，從而增加傳熱系數；
3)當熱交換器表面溫度高于周圍液體的沸點時，熱交換器表面發生蒸發，蒸發膜的傳熱阻力也很大。超聲波的微射流可以加速氣泡的破裂；
4)超聲波具有脫氣作用，減少了換熱器表面和液體主體中的氣泡量，從而加速了液體主體的表面傳熱率和傳熱率。